產(chǎn)品中心
公司產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級三維結構的高精密高速檢測和量測
原子力顯微鏡APEX-IL
APEXIL-X1是應用于晶圓廠的在線自動化AFM量測系統(tǒng)。本系統(tǒng)可以輕松檢測出晶圓缺陷，分辨率可達納米級。同時可提供高達10mm的線性長程掃描，以及靈活的換針系統(tǒng)。
原子力顯微鏡APEX-IL
APEXIL-X1是應用于晶圓廠的在線自動化AFM量測系統(tǒng)。本系統(tǒng)可以輕松檢測出晶圓缺陷，分辨率可達納米級。同時可提供高達10mm的線性長程掃描，以及靈活的換針系統(tǒng)。
應用案例
公司產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級三維結構的高精密高速檢測和量測
關于我們
南京埃米儀器科技有限公司是一家致力于研發(fā)和生產(chǎn)用于芯片制造高精密量測設備的技術企業(yè)。公司以芯片制造企業(yè)為主要客戶，產(chǎn)品聚焦芯片制造過程中晶圓表面粗糙度、CMP 輪廓、光刻及刻蝕中的三維結構等關鍵指標的在線檢測和量測，助力客戶大幅提高產(chǎn)品的良率、縮短工藝的研發(fā)進程。
公司擁有一支以國家級人才為主的研發(fā)核心團隊，目前已與南京大學、山東大學、南智光電研究院等國內外科研院所、機構建立密切合作關系。依托公司核心團隊多年技術儲備，聚焦高端量測產(chǎn)品開發(fā)，包含用于芯片生產(chǎn)過程控制的超快高精密原子力顯微鏡在線量測設備及高端混合技術量測設備。
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