工業(yè)級原子力顯微鏡
APEXIL-X1是應用于晶圓廠的在線自動化AFM量測系統(tǒng)。本系統(tǒng)可以輕松檢測出晶圓缺陷，分辨率可達納米級。同時可提供高達10mm的線性長程掃描，以及靈活的換針系統(tǒng)。
關鍵詞：
原子力顯微鏡APEX-OL | 原子力顯微鏡APEX-IL
所屬分類：
產(chǎn)品描述
概覽
1、APEXIL-X1是應用于晶圓廠的在線自動化AFM量測設備。APEXIL-X1可實現(xiàn)低噪聲、全自動、大吞吐量的粗糙度、關鍵尺寸量測等三維形貌量測，量測分辨率<0.1nm、自動換針。可提供大于10mm的輪廓掃描、及依據(jù)應用場景需要開發(fā)定制功能。
2、Z向噪音水平小于0.03nm
3、可配置28位ADC/DAC控制器
4、<2um的待測點自動定位功能
5、12寸晶圓自動量測(可升級兼容8英寸晶圓)
6、標配多種工作模式
7、智能進針和掃描
技術參數(shù)
1、掃描器
· XY軸掃描器掃描范圍：100μmX100μm，線性誤差：小于0.1%
· Z軸掃描器掃描范圍：>10μm (可升級/定制更大量程)
2、運動氣浮平臺：X/Y行程：兼容200mm和300mm
3、光學：5M高分辨率光學相機(目標定位)
工作模式
1、靜態(tài)力模式
2、動態(tài)力模式
3、相位成像模式
4、橫向力模式
5、磁力模式
6、靜電力模式
7、擴展電阻顯微鏡(導電力)
8、力調(diào)制模式
9、譜線測量模式
· 力-距離曲線
· 振幅-距離曲線
· 電壓-距離曲線
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